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洁净等级标准
作者:管理员    发布于:2013-08-16 14:48:59    文字:【】【】【

ISO14644-1和GB50073-2001的空气洁净度级别

ISO等级
大于或等于表中所示粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气)
序数(N)
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
对应传统洁净度分级
ISO 1 级
10
2
ISO 2 级
100
24
10
4
ISO 3 级
1000
237
102
35
8
1级
ISO 4 级
10000
2370
1020
352
83
10级
ISO 5 级
100000
23700
10200
3520
832
29
百级
ISO 6 级
1000000
237000
102000
35200
8320
293
千级
ISO 7 级
352000
83200
2930
万级
ISO 8 级
3520000
832000
29300
10万级
ISO 9 级
35200000
8320000
293000
30万级


欧洲洁净度级别草案CEN/TC243
级别
粒/m3
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
10μm
0
20
6
(1)
1
250
63
28
10
2
2500
625
278
100
25
3
25000
6250
2778
1000
250
10
4
62500
27778
10000
2500
100
25
5
100000
25000
1000
250
6
1000000
250000
10000
2500
7
(10000000)
2500000
100000
25000
注:()内数字供参考
 
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