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CLEANROOM  洁净室

洁净室
      洁净室是将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
  洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
  每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
      空气中的各种有害气体和物质如烟雾、尘埃、汽车尾气、臭味和甲醛、苯、氨等化学物质,以及日常生活中TV、PC、手机等各种电子产品和电器设备产生的电磁波一般以正离子形态存在。一旦摄入体内就会削弱细胞活性,降低细胞吸收营养、排泄废弃物的功能,危害人的身体健康。 而负离子能够中和正离子,还原来自大气的污染物质、氮氧化物、甲醛、以及香烟等产生的活性氧(氧自由基);使带正电的空气飘尘无电荷后沉降;减弱电磁波辐射危害,从而让环境得到净化。  此外,负离子被确认是具有杀灭病菌及净化空气的有效手段。其机理主要在于负离子与细菌结合后,使细菌产生结构的改变或能量的转移,导致细菌死亡。

>原理图:

 

>洁净室的使用:
   空态:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
   静态:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
   动态:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
      随着各类工业产品加工生产过程趋向精密化、微型化、洁净室在各工业加工生产被广泛地应用。

>洁净厂房一般包括:
    1、洁净区
    2、洁净辅助区(包括人员净化用室、物料净化用室和部分生活用室等)
    3、管理区(包括办公、值班、管理和休息室)
    4、设备区

 
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